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利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。
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ZETA电位 · 粒径 · 分子量测试系统可测量浓度低的溶液～浓度高的溶液的ZETA电位･粒径及分子量。
QE-2000荧光量子效率测试系统瞬间测量绝.对量子效率。适用于粉末、溶液、固体（膜）、薄膜样品的测量。通过低杂散光多通道分光检出器，大大减少了紫外区域 的杂散光。
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