产品中心
相关文章
SIRM是非接触和非破坏型光学检测设备,对体微缺陷,如氧化物和金属沉淀,位错、堆垛层错,体材料中的滑线和空隙等进行测试。 这个技术也可对GaAs 和 InP等复合材料进行测试。
LST是检测半导体材料的体微缺陷有力工具,通过CCD相机,对入射光在样品边沿的散射进行扫描,获得体微缺陷分布信息。
LEIModel1605,是非接触迁移率测试系统,可对各种半导体材料和器件结构进行测试。无需制样,消除了样品制备引起的迁移率变化。
非接触Hal和方块电阳测试系统,可对GaAs,InP,InAs,GaN,AIN,Si,SiC等各种半导体材料设计的HEMTs,pHEMTs,HBTs,FETs器件结构进行测试。