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●具有高灵敏度检测器的宽测量范围 ●具有紫外线自吸收校正的高精度测量 ●配备温度控制单元，可从-110°C进行温度控制 ●涵盖从紫外线到可见光的波长范围 ●电源、温控单元、测量仪软件批量控制
采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备
采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备
●可在紫外和可见（250至800nm）波长区域中测量椭圆参数 ●可分析纳米级多层薄膜的厚度 ●可以通过超过400ch的多通道光谱快速测量Ellipso光谱 ●通过可变反射角测量，可详细分析薄膜 ●通过创建光学常数数据库和追加菜单注册功能，增强操作便利性 ●通过层膜贴合分析的光学常数测量可控制膜厚度/膜质量
●可处理高达2400mm的直管光学总光通量测量 ●测量系统符合IESNA的LM-79和LM-80标准 ●采用新的探测器，可以进行广动态范围的测量 ●测量部分的尺寸（积分球或积分半球）从φ250毫米到φ3000毫米都能对应 ●支持LIV测量，脉冲点测量，样品温度测量 ●兼容脉冲宽度调制（PWM）调光
以透过光谱测量、色测量为代表，通过浓度测量、膜厚测量、反射光谱测量等，可对应彩色滤光片制造工程中的所有检查的装置
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